MEGATORR公司半導體工程用石英制品

MEGATORR公司半導體工程用石英制品

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CMCP系列通用型真空計

CMCAP系列計量器是堅固的全焊接構造以Inconel隔膜為特征的小型經濟型非加熱電容器。

該電子產品將因環境溫度變化而產生的漂移控制在小限度的溫度范圍。

不受氣體的影響，在所有環境下都可以測量壓力。

介紹：

電容隔膜規（CDG）是指氣體種類不受影響，可以準確測量真空壓。

Brooks公司*的傳感器技術：對US Patent No、4823603）進行數字溫度控制，

通過組合數字校準，實現了更高精度、長期穩定性。

XacTorr數字真空壓力計

數字電路裝載的電容計量器，CMX系列，由于獨自的傳感器技術US Patent No.4823603里組合數字溫度控制，數字校準，實現了更高精度，長期穩定性。

介紹：

電容隔膜規（CDG）是指氣體種類不受影響，可以準確測量真空壓。

Brooks公司*的傳感器技術對US Patent No、4823603進行數字溫度控制，

通過組合數字校準，實現了更高精度、長期穩定性。

非加熱插槽蝶泳閥門MR15KFVSP572,MR30ITV000SN,MR18KFVSF605

通過閥部0～90°可變來進行真空壓力控制的節流閥。各種真空室（蝕刻裝置等）的壓力控制可以快速響應，通過與AP系列控制器/電容計并用，可以在半導體等工藝中獲得高速響應、真空壓力控制。

寬帶閥040(NW40),050(NW50),063(NW63),075(NW80)

在以往的真空壓力控制中，隨著過程的多樣化，壓力控制范圍也呈現出多樣化的趨勢，特別是在低真空（高壓）下壓力控制的需求增加。閥門加熱溫度也一樣，隨著過程氣體的多樣化，變得更需要溫度。為了滿足您的要求而開發的是這個寬帶閥門。

寬壓力控制范圍：101.33kPa（大氣壓）～10Pa以下（760Torr～70mTorr以下）可以控制，還能加熱到200℃。

壓力控制器AP-420

AP系列是電容計量器（壓力真空計）和槽閥組合使用的壓力控制器。可以從自適應/PID/混合動力3種類型中選擇控制方式，確保半導體/FPD/太陽能電池等制造裝置所要求的高速應答、高再現性的真空壓力控制。也可以通過前面板進行設定，操作性非常容易。另外，由于CE標志、RoHS對應產品，被世界上所有產業的量產設備所使用

壓力控制器AP-100R

Model AP-100R將制造裝置中的真空室進行真空排氣時，通過改變閥門電導，作為控制真空排氣速度的下游壓力控制裝置使用。

焊接金屬

焊接膠體作為一般真空設備、半導體制造裝置中可動部分的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特別是為了保持裝置可動部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質金屬的焊接金屬。本公司的焊接金屬在ISO 9001認證工廠進行管理、制造、檢查，提供令人放心的高品質焊接金屬。

石英制品

在半導體工程中使用的石英產品，特別要求品質嚴格。本公司經營的Wonk Quartz公司生產的石英制品是ISO 9002認證工廠生產的高質量、高精度的產品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產生的反應產物和粉塵在Chamber內和排氣系統中累積過程中如果泵緊急停止的話，會引起Chamber內粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber內產品污染。通過使用Chamber防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統，防止粉塵逆流，保護產品不受污染。

真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生產的電容表配備了SetPoint繼電器的顯示器和電源供應單元。可以連接一臺或兩臺電容表。內置2個或4個獨立動作的定點繼電器。連接帶有溫度支架輸出的電容表時，可以顯示溫度支架。