MEGATORR真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MEGATORR真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

焊接金屬

焊接膠體作為一般真空設備、半導體制造裝置中可動部分的真空保持和裝置的排氣管道而被大量使用。特別是為了保持裝置可動部的真空，需要考慮安全性/氣密性和耐久性，使用高品質金屬的焊接金屬。本公司的焊接金屬在ISO 9001認證工廠進行管理、制造、檢查，提供令人放心的高品質焊接金屬。

石英制品

在半導體工程中使用的石英產品，特別要求品質嚴格。本公司經營的Wonk Quartz公司生產的石英制品是ISO 9002認證工廠生產的高質量、高精度的產品。備齊各種石英。

逆流防止閥M-NW50,M-NW30H,M-NW40H

安裝在真空排氣泵上部，是在排氣泵緊急停止時切斷排氣線的部件。在成膜、剝離過程中產生的反應產物和粉塵在Chamber內和排氣系統中累積過程中如果泵緊急停止的話，會引起Chamber內粉塵的飛揚和管道等造成的Chamber內產品污染。通過使用Chamber防護，在停止泵時，通過瞬間切斷排氣系統，防止粉塵逆流，保護產品不受污染。

真空計用電源顯示器MS-1S,MS-2S

MS-1/MS-2S是Brooks公司生產的電容表配備了SetPoint繼電器的顯示器和電源供應單元。可以連接一臺或兩臺電容表。內置2個或4個獨立動作的定點繼電器。連接帶有溫度支架輸出的電容表時，可以顯示溫度支架。