ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10真空光學代理

ICF70XY機械軸XY-70/70-40-10

規格:

X?Y平行移動：±10mm

精度刻度：0.01m/1div

安裝法蘭：ICF70

玫瑰內徑：40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

X機械軸

X-70/70-M

規格

X方向移動：±12.5mm（線程馬達驅動）、法蘭面間110mm、分辨率0.04μm/pulse、帶限位開關

安裝法蘭：基座法蘭ICF70FH、移動法蘭ICF70FT

焊接貝羅：外徑φ60mm內徑φ使用40mm

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉導入機KMMR-34

本產品是可用于導入真空中安裝的機器的旋轉運動的超高真空區域的旋轉導入機。

規格

連接法蘭：ICF34

前端軸直徑：6mm

引進軸長度：法蘭面～35L

容許扭矩：4kg/f（磁耦合）

重量：0.55kg

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下

回轉導入機VBR-70

規格

使用焊接回流10 deg/1刻度

傳遞扭矩2N?m手動

連接法蘭ICF70FH

旋轉棒φ8（SUS304）帶限位器

約820g

容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下