HUGLE藤宮USG-401S,半導體基板用單面清潔器說明:是省空間和節能型的超聲波底板清潔器。實現了緊湊設計的清潔頭的,通過空氣流量控制,單元也實現了省電輕化。適合FPD、有機EL、PV面板的上面清洗。有效寬度超過100~3000毫米,可以對應大小不同的基板
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HUGLE藤宮USG-401S,半導體基板用單面清潔器
HUGLE藤宮USG-401S,半導體基板用單面清潔器
說明:
是省空間和節能型的超聲波底板清潔器。
實現了緊湊設計的清潔頭的,通過空氣流量控制,單元也實現了省電輕化。
適合FPD、有機EL、PV面板的上面清洗。
有效寬度超過100~3000毫米,可以對應大小不同的基板
規格:
1400mm基板比 | USG-401S | メリット |
ヘッド寸法 | ▲50% | 省スペース |
ブロワーユニット寸法 | ▲12% | 省スペース |
ブロワーユニット重量 | ▲20% | 軽量化 |
ブロワー定格 | ▲25% | 小型化 |
消費電力 | ▲22% | 省電力 |
ランニングコスト | ▲20% | 省エネ |
イニシャルコスト | ▲20% | 低価格 |
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